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♢ 将激光地聚焦在探针上,实现优化条件下对样品的无损表征。♢ 互动式软件界面,帮助新用户直接上手,获取高质量数据。02IR-neaSCOPE+s:探测商用AFM针尖的弹性散射光,实现纳米级红外成像和光谱。IR-neaSCOPE+s能实现10 nm空间分辨率的化学分析和电磁场成像。该设备利用先进的近场光学显微镜技术来测量红外吸收和反射率,以及局部电磁场的振幅和相位。...
Park NX20具备表面粗糙度测量、缺陷检测成像、高分辨率电子扫描和侧壁测 量功能,适用于解决复杂的半导体挑战和大样品研究.Park NX-IR用于化学分析和材料成像的纳米级红外光谱系统 Park NX-IR 有效融合了崭新的红外光谱技术、Molecular Vista 的光诱导力显微镜(PiFM)以及行业前沿的 Park AFM 技术。...
缺陷坐标的导入需要准确对准晶圆以及补偿 AOI 和 AFM 之间的载物台误差。具有比 AOI 更高位置精度的光学分析工具(例如Candela),可以减少快速中间校准步骤中的载物台误差。以下 ADR-AFM 测量包括在给定缺陷坐标处的大范围调查扫描、缺陷的高分辨率成像和缺陷分类。由于自动化,测量过程中用户不必在场,吞吐量增加了一个数量级。...
因此,若使用距样本表面仅几个纳米的探针收集并探测近场光信号,可以大幅提高光学显微镜的分辨率,这种思路导致了近场扫描光学显微镜(Near-field Scanning Optical Microscope, NSOM)的诞生,其分辨率可以优于25 nm。而基于倏逝场扫描成像的光学显微镜,通常被称为近场光学显微镜(Near-field Optical Microscope)。...
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