2.3 各种衍射光学部件的研制本文所研制的光学元器件包括X射线衍射金立柱及其列阵、菲涅尔波带片、分辨率板和光栅型均匀辐照的会聚镜。其工艺步骤如图 3所示。2.3.1 超高金立柱及其列阵作为无透镜成像的衍射元件,大高宽比金立柱是一个重要结构。运用图 3所示的工艺流程,本文在300 nm厚的SiNx上成功研制了直径为200 nm、高2 μm的单根独立金立柱,如图 4(a)~4(b)所示[39]。...
在光学系统中,来自等离子体的光在光谱仪中被分离成的离散波长。用于分离离散波长的光学装置称为衍射光栅。衍射光栅的表面上具有非常细的线的凹面镜,其使入射的多色光被分离成特定波长并聚焦在光检测器阵列上。 下图显示出了基于Rowland Circle概念的使用多色仪光学器件的油液分析光谱仪的主要部件。来自激发过程的光或“燃烧”离开光纤电缆并通过入口狭缝,在那里其通过透镜集中在衍射光栅上。...
平面光栅单色仪的工作原理是光源发出的光均匀地照亮在入射狭缝S1上,S1位于离轴抛物镜的焦面上。光经过M1平行照射到光栅上,并经过光栅的衍射回到M1,经M1反射的光经过M2会聚到S2出射狭缝上,最后照到光电接受元件上。由于光栅的衍射作用,从出射狭缝出来的光线为单色光。当光栅顺时针转动时,从出射狭缝里出来的光由短波到长波依次出现。这种光学系统称为李特洛式光学系统。...
平面光栅单色仪的工作原理是光源发出的光均匀地照亮在入射狭缝S1上,S1位于离轴抛物镜的焦面上。光经过M1平行照射到光栅上,并经过光栅的衍射回到M1,经M1反射的光经过M2会聚到S2出射狭缝上,最后照到光电接受元件上。由于光栅的衍射作用,从出射狭缝出来的光线为单色光。当光栅顺时针转动时,从出射狭缝里出来的光由短波到长波依次出现。这种光学系统称为李特洛式光学系统。...
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