GJB 8153-2013
大口径平面光学元件面形测量方法斐索干涉法

Measurement for surface figure of large optical flat by Fizeau interferometric method

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标准号: GJB 8153-2013
发布: 2013年
发布单位: 国家军用标准-总装备部
当前最新: GJB 8153-2013

适用范围: 本标准规定了利用斐索干涉仪测量大口径平面光学元件面形及波面误差的测量方法、步骤和要求。本标准适用于斐索式干涉仪对外接圆直径不小于100mm的平面类光学元件透射和反射波面误差的测量，其他口径的光学元件可参照执行。

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