4、低温泵 利用低温表面捕集气体的真空泵 真空泵的性能参数及使用范围 真空泵的性能参数 （1）真空泵的极限压强 泵的极限压强单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的zui低压强。 ...
答：绝对真空=相对真空+标准大气压所以当在文献中看到需要真空度为-0.09MPa，那么它的绝对真空=-0.09+0.1=0.01Mpa2、要如何选合适的抽气速度和真空度？极限真空度是指容器在经过充分抽气后，所能稳定达到的真空度；真空度：真空泵的极限真空度要满足实验的压力要求，选型时应高出实验参数半个或一个数量级。如实验要求10kPa，那么泵的极限真空度至少为1~5kPa。...
真空泵已然成为了小型化质谱进一步发展的主要瓶颈。幸运地是，大量基于MEMS技术的微型真空泵取得了令人兴奋的进展。2008年，有现实版神盾局之称的美国国防部高级研究计划局(DARPA)推出了一项名为CSVMP的研发计划旨在推动芯片级微型真空泵技术的发展，该项目要求真空泵的尺寸小于1美分，在1mm3的真空腔体内实现100μP的真空度，功耗小于0.25瓦，还要求集成精确测量气压的真空规。...
此外，在抽真空的过程中，诸如氧气等多余物质可以从干燥室中去除。泵的选择真空泵的选择标准包括尽可能低的极限真空和高抽速。采用这些标准即可达到所需的抽真空时间，并在工艺气体的进气过程中保持恒定的压力。设计无论是规划真空泵的规格尺寸，或是推荐诸如灰尘分离器、真空计、检漏仪以及配件等附加组件，普发真空将为您的整套真空系统设计提供支持。并且，泵的特有性能以及管道造成的损耗和泄漏均被考虑其中。...
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