GB/T 32293-2015
真空技术 真空设备的检漏方法选择

Vacuum technology.Selection of leak test methods for vacuum equipment

GBT32293-2015, GB32293-2015


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标准号
GB/T 32293-2015
别名
GBT32293-2015
GB32293-2015
发布
2015年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 32293-2015
 
 
引用标准
GB/T 3163 GB/T 9445
本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求、通用要求、检漏实施的安全要求、选择程序及选择原则、检漏方法的特征参数。 本标准适用于真空设备的检漏方法选择,适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空阀门、真空镀膜设备、真空干燥设备、真空冷冻干燥设备、表面分析设备、真空冶金设备、空间环境模拟设备、半导体生产设备等真空设备。工作时涉及真空状态的其他设备...

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