GOST 8.593-2009
国家测量统一性保证体系.原子力扫描探针显微镜.鉴定方法

State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe microscopes. Method for verification

GOST 8.593-2009 发布历史

GOST 8.593-2009由RU-GOST R 发布于 2009，并于 2010-11-01 实施。

GOST 8.593-2009在国际标准分类中归属于: 17.040.01 长度和角度测量综合。

GOST 8.593-2009 发布之时，引用了标准

• GOST ISO 14644-1-2002 净化室及其有关的控制环境.空气纯度分类
• GOST 8.591-2009 确保测量统一的国家体系.梯形剖面元素的毫微米幅度减小测量.检定方法
• GOST 8.592-2009 确保测量统一的国家体系.单晶硅毫微米幅度减小测量.几何形状,线形尺寸和制造材料要求
• GOST 12.2.061-1981 职业安全标准体系.工业设备.有关工作区的安全性一般要求

GOST 8.593-2009的历代版本如下：

• 2009年 GOST 8.593-2009 国家测量统一性保证体系.原子力扫描探针显微镜.鉴定方法

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标准号

GOST 8.593-2009

发布日期

2009年

实施日期

2010年11月01日

废止日期

无

国际标准分类号

17.040.01

发布单位

RU-GOST R

引用标准

GOST ISO 14644-1-2002 GOST 8.591-2009 GOST 8.592-2009 GOST 12.2.061-1981

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