BS ISO 14606-2015
表面化学分析.溅射深度剖面测定.采用作为参考材料的成层系统最优化

Surface chemical analysis. Sputter depth profiling. Optimization using layered systems as reference materials

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标准号

BS ISO 14606-2015

发布日期

2015年12月31日

实施日期

2015年12月31日

废止日期

无

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

GB-BSI

引用标准

ISO Guide 30-2015 ISO Guide 31-2000 ISO Guide 33-2015 ISO Guide 34-2009 ISO Guide 35-2006 ASTM E 673-97 ASTM E 1438-91 (1996) ASTM E 1127-91 (1997) ASTM E 684-95

被代替标准

BS ISO 14606-2000