表壳体及其附件 气相沉积镀层, 您可以免费下载预览页
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05气相沉淀 气相沉积是指利用气相中发生的物理化学反应,在材料表面形成具有特种性能的金属或化合物涂层的过程。按照成膜机理,可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体气相沉积。 航天装备中的一些微电子芯片、微波元器件常常利用化学气相沉积得到所需沉积薄膜,所涉及的材料大多数为硅、碳纤维、碳纳米纤维、SiO2、氮化硅等材料。...
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