红外类金刚石膜 不是强制性中国国家标准,您可以免费下载预览页
论文采用傅立叶变换红外吸收光谱、拉曼光谱、俄歇电子光谱、电子能谱和原子力显微镜等方法对所制备薄膜的结构和表面形貌进行了分析,分析结果表明:(1)实验所得的氟化类金刚石薄膜是非晶态膜,具有典型的类金刚石结构,表面粗糙度要低于类金刚石膜。(2)氟化类金刚石膜主要由-CH,-CH2,-CF,-CF2,-CF3及少量的C=C、-CFx组成。(3)源气体种类和流量不同,制备的薄膜结构不同。...
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