GB/T 32814-2016
硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology.Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process

GBT32814-2016, GB32814-2016

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标准号: GB/T 32814-2016
别名: GBT32814-2016, GB32814-2016
发布: 2016年
发布单位: 国家质检总局
当前最新: GB/T 32814-2016

引用标准: GB 50073 GB/T 26111

适用范围: 本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。

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