光刻是集成电路最重要的加工工艺,他的作用,如同金工车间中车床的作用。光刻是制造芯片的最关键技术,在整个芯片制造工艺中,几乎每个工艺的实施,都离不开光刻的技术。光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动。手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了。半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐。...
如今五轴数控加工机床的应用越来越普及,广大用户对五轴加工技术掌握明显提升,随着产品精度要求的提升和加工自动化程度的提高,机床自身精度检测、补偿和机内自动测量技术的应用受到空前的重视。在提供优质、创新型数控系统产品和测量产品的同时,为了更好的向用户提供整体解决方案,西门子和雷尼绍技术队伍强强联合,探讨了五轴机床精度检测和机内测量产品在Siemens 840D sl上的实现和应用。...
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