编写中，引用了GB 2831-2009《光学零件的面形偏差判读测试结果》、GJB/J 6221-2008《数字式激光平面干涉仪校准规范》、JJF 1100-2003《平面等厚干涉仪校准规范》、JJG 28-2000《平晶检定规程》、JB/T 7401-1994《平面平晶 JJF 1001 通用计量术语及定义 JJF 1059 测量不确定度评定与表示》等文件中的相关内容。 ...
斐索干涉仪原理为等厚干涉，用以检测光学元件的面形、光学镜头的波面像差以及光学材料均匀性等的一种精密仪器。其测量精度一般为/10～/100,为检测用光源的平均波长。常用的波面干涉仪为泰曼干涉仪和斐索干涉仪。 斐索干涉仪有平面的和球面的两种，前者由分束器、准直物镜和标准平面所组成，后者由分束器、有限共轭距物镜和标准球面所组成。...
斐索干涉仪有平面的和球面的两种，前者由分束器、准直物镜和标准平面所组成，后者由分束器、有限共轭距物镜和标准球面所组成。单色光束在标准平面或标准球面上，部分反射为参考光束；部分透射并通过被测件的，为检测光束。检测光束自准返回，与参考光束重合，形成等厚干涉条纹。用斐索平面干涉仪可以检测平板或棱镜的表面面形及其均匀性。...
03校准和性能测试为了校准IDS3010不同探头之间的距离，需要进行初步测试（每个传感器探头与用于角度计算的距离，名义上为100 mm）。为此，平面参考镜的电动框架被用来产生任意角度的运动。这些角度是由皮米精度激光干涉仪 IDS3010和校准的自准直仪测量得到。IDS3010激光干涉仪在±720角秒范围内表现出良好的线性（...
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