IEC 62047-28:2017
半导体器件. 微型机电装置. 第28部分: 振动驱动MEMS驻极体能量采集设备的性能试验方法
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 28: Performance testing method of vibration-driven MEMS electret energy harvesting devices
- 标准号
- IEC 62047-28:2017
- 发布
- 2017年
- 发布单位
- 国际电工委员会
- 当前最新
- IEC 62047-28:2017
- 被代替标准
- IEC 47F/266/FDIS:2016
- 适用范围
- IEC 62047 的这一部分规定了振动驱动 MEMS 驻极体能量收集设备的术语和定义以及性能测试方法，以确定消费者、工业或任何应用的特征参数。本文件适用于振动驱动的驻极体能量收集装置，其电极间隙低于 1000 m，由带有俘获电荷的介电材料覆盖，并通过蚀刻、光刻或沉积等 MEMS 工艺制造。
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