GB/T 14603-1993
电子工业用气体 三氟化硼
Gases for electronic industry. Boron trifluoride
GBT14603-1993, GB14603-1993
2010-05
- 标准号
- GB/T 14603-1993
- 别名
- GBT14603-1993, GB14603-1993
- 发布
- 1993年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 14603-2009
- 当前最新
- GB/T 14603-2009
- 适用范围
- 本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于以氟硼酸钠为原料，采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。 分子式：BF3 相对分子质量：67.805（按1989年国际相对原子质量）
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