ISO 29301:2017
微光束分析.分析电子显微镜法.具有周期性结构的基准物质校准图像放大的方法

Microbeam analysis - Analytical electron microscopy - Methods for calibrating image magnification by using reference materials with periodic structures


标准号
ISO 29301:2017
发布
2017年
发布单位
国际标准化组织
替代标准
ISO 29301:2023
当前最新
ISO 29301:2023
 
 
引用标准
ISO 16700:2016 ISO 17034:2016 ISO 5725-1:1994 ISO GUIDE 30:2015 ISO GUIDE 35:2017 ISO/IEC 17025:2005 ISO/IEC GUIDE 98-3:2008
适用范围
本文件规定了适用于透射电子显微镜(TEM)在宽放大倍率范围内记录的图像的校准程序。 用于校准的参考材料具有周期性结构,例如衍射光栅复制品、半导体的超晶格结构或用于X射线分析的分析晶体以及碳、金或硅的晶格图像。 本文件适用于记录在照相胶片或成像板上或由内置于数码相机中的图像传感器检测到的TEM图像的放大率。 本文件还涉及比例尺的校准。 本文件不适用于专用临界尺寸测量TEM(CD-TEM)和扫描透射电子显微镜(STEM)。

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