DIN 50989-1:2018
椭偏仪.第1部分:原理;德文和英文文本
Ellipsometry - Part 1: Principles; Text in German and English
- 标准号
- DIN 50989-1:2018
- 发布
- 2018年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 当前最新
- DIN 50989-1:2018
- 引用标准
- DIN EN ISO/IEC 17025:2005 ISO/IEC Guide 98-3:2008
- 被代替标准
- DIN 50989-1:2017
- 适用范围
- This standard deals with the ellipsometry, a method for determining optical and dielectric constants in the UV-VIS-NIR spectral range as well as layer thicknesses, in the range of at-line production control, quality assurance and material development.
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