ISO 20411:2018
表面化学分析.二次离子质谱法.单离子计数动态二次离子光谱法中饱和强度的校正方法
Surface chemical analysis - Secondary ion mass spectrometry - Correction method for saturated intensity in single ion counting dynamic secondary ion mass spectrometry
- 标准号
- ISO 20411:2018
- 发布
- 2018年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 20411:2018
- 引用标准
- ISO 18115-1:2013 ISO 18115-2:2013
- 适用范围
- 本文件规定了一种在脉冲计数磁扇形二次离子质谱仪或四极二次离子质谱仪中确定强度尺度线性可接受偏差极限的最大计数率的方法。 它使用基于参考材料中两种同位素深度剖面分析的测试，该参考材料在低浓度和高浓度范围之间具有逐渐的浓度变化。 它还包括对探测器死区时间引起的饱和强度的校正方法。 校正可以增加 95% 线性度的强度范围，以便对于相关校正方程已被证明有效的那些光谱仪可以采用更高的最大计数率。 本文件不适用于飞行时间质谱仪。 本文件仅适用于含有少量同位素的元素。 如果元素是单一同位素或含有相同丰度的同位素，则不适用。