通过比较线圈理论偏移能力和实验偏移能力的差别,判断测量系统位置测量的准确性。图4给出了电子束水平(a)和垂直方向(b)的线圈CX6和CY6在不同电流下电子束位置测量和偏移能力线性拟合结果。表1给出了部分校正线圈理论偏移能力、实验偏移能力和它们的偏差量。结果表明,线圈理论偏移能力和实验偏移能力差别小于0.5mm/A,即测量系统有较好的位置测量准确性。...
飞纳台式扫描电镜的CeB6灯丝的样品电流稳定性的测试结果表明：从开启灯丝的第一个5小时中，电子束电流的波动幅度约为0.3%，从开启的灯丝5小时-15小时，其波动约为0.2%。如图3所示。在第一个小时内，电子束电流下降了约为10%，是由电子枪的温度逐渐稳定造成的。 此外，电子枪的真空稳定性不影响CeB6灯丝发射电流。...
加热灯丝发射电子束。在阳极加电压，电子加速。阳极与阴极间的电位差为总的加速电压。经加速而具有能量的电子从阳极板的孔中射出。射出的电子束能量与加速电压有关，栅极起控制电子束形状的作用。电子束有一定的发散角，经会聚镜调节后，可望得到发散角，很小甚至为0的平行电子束。电子束的电流密度（束流）可通过调节会聚镜的电流来调节。 ...
而cathodoluminescence是阴极射线致发光，最常见的阴极射线发光是电视、雷达、示波器、计算机的荧光屏的发光。电子束感生电流电子束诱导电流高能电子束照射到有势垒的半导体上所产生的电流。...
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