BS ISO 17109-2015
表面化学分析. 深度剖析. 使用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱, 俄歇电子能谱以及二次离子质谱法溅射深度剖析中溅射率的方法

Surface chemical analysis. Depth profiling. Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layer thin films

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标准号

BS ISO 17109-2015

发布日期

2015年08月31日

实施日期

2015年08月31日

废止日期

无

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

GB-BSI

引用标准

ISO 14606 ISO 18115 ISO/TR 15969