DIN ISO 18516:2020
表面化学分析. 基于方法的光束中横向分辨率和清晰度的测定(范围从纳米至微米)(ISO 18516-2019); 英文文本
Surface chemical analysis - Determination of lateral resolution and sharpness in beam based methods with a range from nanometers to micrometers (ISO 18516:2019); Text in English
- 标准号
- DIN ISO 18516:2020
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN ISO 18516:2020-11
- 当前最新
- DIN ISO 18516:2020-11
- 适用范围
- 本文件描述了在成像表面化学分析中测量横向分辨率和清晰度的方法。
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