NF A91-156-2021

Carbon based films - Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry

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标准号

NF A91-156-2021

发布日期

2021年10月08日

实施日期

2021年10月08日

废止日期

无

国际标准分类号

25.220.99

发布单位

FR-AFNOR