PNS ISO 14644-9:2021
洁净室和相关受控环境.第9部分：按颗粒浓度对表面清洁度的分类

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration

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标准号

PNS ISO 14644-9:2021

发布

2021年

发布单位

PH-BPS

 

 

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