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从本质上讲，图像处理软件可识别底材上的图案，自动化程序可将样品定位到正确位置。这涉及到一些设置，您必须教会软件识别出指定的模式，如果您有很多相同的零件要测量，那么会因此节省很多时间。因为总是在正确的位置进行测量，所以这不仅可以节省您的时间，还可降低出错的可能性。自动聚焦一旦样品处于正确的分析位置，下一个步骤就是确保其被正确聚焦。...
这些参数通常通过不同的晶圆平边或凹槽的位置机械地编码在晶圆上。Tosca测量控制软件，可以在装载样品后，在选择菜单中选择晶圆类型。然后，手动或自动检测确定晶圆的平边或凹槽。这称作“自动晶圆对准”。确定晶圆平边或凹槽的位置后可以建立基于晶圆的坐标系。这样就可以通过绝对坐标进行样品导航，以实现在相同的位置上使用Tosca进行AFM分析。...
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它可通过控制软件安全方便地追踪表面上悬臂梁的确切位置。 测量在 XY 和 Z 方向解耦合的扫描器架构中，XY 方向的扫描器位于样品之下，而 Z 方向的扫描器位于仪器测量头中。这种仪器设计可大大降低扫描器之间的串扰及平面外运动程度。后者是使用扫描管的传统 AFM 系统的已知缺陷，会导致典型的背景弯曲或“弓形”问题。Tosca仪器的设计解决了此问题。 ...
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