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晶圆在半导体工业中至关重要,并且晶圆的年需求量在过去10年里持续增长。由原子力显微镜得到的晶圆表面纳米尺度三维形貌,是包括表面粗糙度,颗粒或缺陷检测等表面分析的基础。例如,粗糙度是晶圆一个非常重要的参数。它不仅能反映了晶圆表面的质量,同时,它也被用于评价后续的处理步骤 (外延、刻蚀、清洗等),因为这些工艺会改变表面并影响表面粗糙度。...
20 JB/T 12641-2015圆柱直齿渐开线花键 量仪本标准规定了圆柱直齿渐开线花键量仪的术语和定义、型式、要求、检验方法、标志与包装等。本标准适用于测量分度圆直径D≤180mm的圆柱直齿渐开线花键(见GB/T 3478)的圆柱直齿渐开线花键量仪。GB/T 3478中规定的分度圆直径D>180mm或未规定的圆柱直齿渐开线花键的检验量仪,可参照使用。...
影像测量仪可以自动抓取数据点,测量点、线、圆、弧、椭圆、矩形等几何特征,自动分析测量特征的各种参数,如宽度、直径、位置、直线度、圆锥度、圆柱度等各种几何尺寸。仪器特点是可以自动抓取产品的边界和表面,尤其是在测量一些弱边缘特征(如过渡曲线、圆角加工等)时能完成自动抓取。结合测量软件对测绘要素数据进行处理、评价和输出。在保证精度的前提下,测量效率更高。...
《消毒剂灌装生产线通用技术条件》:本标准规定了消毒剂灌装生产线的术语和定义、型号、型式、组成、基本参数、工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等要求。 本标准适用于采用市场上常见消毒剂包装容器(圆瓶、方瓶、桶等)和盖(圆盖、泵盖、枪盖等)进行消毒剂灌装的生产线。...
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