质谱 na峰

本专题涉及质谱 na峰的标准有2条。

国际标准分类中，质谱 na峰涉及到半导体材料。

在中国标准分类中，质谱 na峰涉及到半金属与半导体材料综合、元素半导体材料。

国家质检总局，关于质谱 na峰的标准

• GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

德国标准化学会，关于质谱 na峰的标准

• DIN 50451-3-2003 半导体工艺用材料测试.液体中痕量元素测定.第3部分:用电感耦合等离子体质谱法测定硝酸中铝(AL)、钴(Co)、铜(Cu)、钠(Na)、镍(Ni)和锌(Zn)的含量

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