等离子体与质谱技术

本专题涉及等离子体与质谱技术的标准有3条。

国际标准分类中，等离子体与质谱技术涉及到集成电路、微电子学、水质、分析化学。

在中国标准分类中，等离子体与质谱技术涉及到半导体分立器件综合。

德国标准化学会，关于等离子体与质谱技术的标准

• DIN 51456-2013 半导体技术用材料的试验. 使用电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 通过水分析解决方案的多元素测定进行硅晶片的表面分析

美国材料与试验协会，关于等离子体与质谱技术的标准

• ASTM D6800-2012 微量金属的电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)分析法使用还原沉淀预浓缩技术对水样制备的标准操作规程

澳大利亚标准协会，关于等离子体与质谱技术的标准

• AS 4873.1-2005 感应耦合等离子体．质谱分析法（ICP－MS）的建议规范．原则和技术

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