电感耦合等离子体技术

本专题涉及电感耦合等离子体技术的标准有5条。

国际标准分类中，电感耦合等离子体技术涉及到分析化学、集成电路、微电子学、水质、有色金属。

在中国标准分类中，电感耦合等离子体技术涉及到仪器、仪表综合、半导体分立器件综合。

中国团体标准，关于电感耦合等离子体技术的标准

• T/CIMA 0023-2020 车载式电感耦合等离子体四极杆质谱仪技术要求

德国标准化学会，关于电感耦合等离子体技术的标准

• DIN 51456-2013 半导体技术用材料的试验. 使用电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 通过水分析解决方案的多元素测定进行硅晶片的表面分析

美国材料与试验协会，关于电感耦合等离子体技术的标准

• ASTM D6800-2012 微量金属的电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)分析法使用还原沉淀预浓缩技术对水样制备的标准操作规程
• ASTM E1613-04 通过电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-AES） 火焰原子吸收光谱法（FAAS）或石墨炉原子吸收光谱法（GFAAS）技术测定铅的标准测试方法
• ASTM E1613-99 通过电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-AES） 火焰原子吸收光谱法（FAAS）或石墨炉原子吸收光谱法（GFAAS）技术测定铅的标准测试方法

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