硅片 碳 氧 含量

本专题涉及硅片 碳 氧 含量的标准有2条。

国际标准分类中，硅片 碳 氧 含量涉及到太阳能工程、集成电路、微电子学。

在中国标准分类中，硅片 碳 氧 含量涉及到太阳能、微电路综合。

德国标准化学会，关于硅片 碳 氧 含量的标准

• DIN V VDE V 0126-18-6-2007 太阳能硅片.第6部分:光电器件用硅中代位碳原子和间隙氧含量的测量方法

行业标准-电子，关于硅片 碳 氧 含量的标准

• SJ 20636-1997 IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法

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