硅片表面金属

本专题涉及硅片表面金属的标准有2条。

国际标准分类中,硅片表面金属涉及到半导体材料。

在中国标准分类中,硅片表面金属涉及到半金属与半导体材料综合。


国家质检总局,关于硅片表面金属的标准

  • GB/T 24578-2009 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
  • GB/T 24578-2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

硅片表面峰

 

可能用到的仪器设备

 

蒸发光散射检测器

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上海通微分析技术有限公司

 

AccuOpt FD-1230型荧光检测器

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中国科学院大连化学物理研究所

 

Agilent 240FS AA 快速序列式火焰原子吸收光谱仪

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安捷伦科技(中国)有限公司

 

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