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Vierpunkt-Sondentester

Für die Vierpunkt-Sondentester gibt es insgesamt 26 relevante Standards.

In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Vierpunkt-Sondentester die folgenden Kategorien: Halbleitermaterial, Elektrizität, Magnetismus, elektrische und magnetische Messungen, Leitermaterial, Plastik, Nichteisenmetalle, Keramik, Umfangreiche Testbedingungen und -verfahren, Zerstörungsfreie Prüfung, Diskrete Halbleitergeräte, Bodenqualität, Bodenkunde, Elektrische Geräte und Systeme für die Luft- und Raumfahrt, Land-und Forstwirtschaft, Elektronische Anzeigegeräte.


National Metrological Verification Regulations of the People's Republic of China, Vierpunkt-Sondentester

  • JJG 508-2004 Widerstandsmessgeräte mit Vier-Sonden-Array-Methode
  • JJG 508-1987 Verifizierungsregelung von Widerstandsmessgeräten mit der Four-Prope-Array-Methode

Professional Standard - Electron, Vierpunkt-Sondentester

  • SJ/T 10314-1992 Allgemeine Spezifikation eines Widerstandsmessgeräts mit Vierpunktsonde
  • SJ/T 31122-1994 Anforderungen an die Einsatzbereitschaft sowie Prüf- und Beurteilungsmethoden für Vierpunktsonden

Korean Agency for Technology and Standards (KATS), Vierpunkt-Sondentester

  • KS D 0260-1999 PRÜFMETHODEN DES WIDERSTANDS EINKRISTALLER SILIZIUMWAFER MIT VIERPUNKTSONDE
  • KS C 0256-2002(2022) Prüfverfahren für den spezifischen Widerstand von Siliziumkristallen und Siliziumwafern mit einer Vierpunktsonde
  • KS D 0260-1989(1994) PRÜFMETHODEN DES WIDERSTANDS EINKRISTALLER SILIZIUMWAFER MIT VIERPUNKTSONDE
  • KS C 0256-2002(2017) Prüfverfahren für den spezifischen Widerstand von Siliziumkristallen und Siliziumwafern mit einer Vierpunktsonde
  • KS L 1619-2013(2018) Prüfverfahren für den spezifischen Widerstand leitfähiger feiner keramischer Dünnfilme mit einer Vierpunkt-Sondenanordnung

Japanese Industrial Standards Committee (JISC), Vierpunkt-Sondentester

  • JIS K 7194:1994 Prüfverfahren für den spezifischen Widerstand leitfähiger Kunststoffe mit einer Vierpunkt-Sondenanordnung
  • JIS H 0602:1995 Prüfverfahren für den spezifischen Widerstand von Siliziumkristallen und Siliziumwafern mit einer Vierpunktsonde
  • JIS R 1637:1998 Prüfverfahren für den spezifischen Widerstand leitfähiger feiner keramischer Dünnfilme mit einer Vierpunkt-Sondenanordnung

KR-KS, Vierpunkt-Sondentester

  • KS L 1619-2013(2023) Prüfverfahren für den spezifischen Widerstand leitfähiger feiner keramischer Dünnfilme mit einer Vierpunkt-Sondenanordnung

Group Standards of the People's Republic of China, Vierpunkt-Sondentester

  • T/ZGIA 001-2019 Graphen-Testmethode zur Bestimmung der Pulverleitfähigkeit, Vier-Sonden-Methode
  • T/BEA 43002-2023 Kalibrierungsspezifikation für Einzel-Langmuir-Sonden-Plasmainstrument
  • T/CASAS 019-2021 Testmethode für den spezifischen Widerstand von Mikro- und Nanometall-Sinterkörpern: Vier-Sonden-Methode

American Society for Testing and Materials (ASTM), Vierpunkt-Sondentester

  • ASTM E499-95(2006) Standardtestmethoden für Lecks unter Verwendung des Massenspektrometer-Leckdetektors im Detektorsondenmodus
  • ASTM D6230-98 Standardtestmethode zur Überwachung der Bodenbewegung mithilfe von Neigungsmessern vom Sondentyp
  • ASTM D6230-13 Standardtestmethode zur Überwachung der Bodenbewegung mithilfe von Neigungsmessern vom Sondentyp
  • ASTM F397-93(1999) Standardtestmethode für den spezifischen Widerstand von Siliziumstäben unter Verwendung einer Zweipunktsonde
  • ASTM D6230-98(2005) Standardtestmethode zur Überwachung der Bodenbewegung mithilfe von Neigungsmessern vom Sondentyp
  • ASTM F390-11 Standardtestmethode für den Schichtwiderstand dünner Metallfilme mit einem kollinearen Vier-Sonden-Array
  • ASTM F1711-96(2016) Standardverfahren zur Messung des Schichtwiderstands von Dünnschichtleitern für die Herstellung von Flachbildschirmen mithilfe einer Vierpunktsondenmethode

German Institute for Standardization, Vierpunkt-Sondentester

  • DIN 50431:1988 Prüfung von Halbleitermaterialien; Messung des spezifischen Widerstands von Silizium- oder Germanium-Einkristallen mittels der Vier-Sonden-/Gleichstrommethode mit kollinearem Array

British Standards Institution (BSI), Vierpunkt-Sondentester

  • BS EN 2591-415:2001 Elemente der elektrischen und optischen Verbindung - Prüfverfahren - Beschädigung der Prüfspitze (Buchsenkontakte)

Jiangsu Provincial Standard of the People's Republic of China, Vierpunkt-Sondentester

  • DB32/T 4378-2022 Vier-Sonden-Methode zur zerstörungsfreien Prüfung des Schichtwiderstands von dünnen Filmen im Nanometer- und Submikronbereich auf der Substratoberfläche




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