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Kohlenstoff- und Sauerstoffgehalt von Silizium

Für die Kohlenstoff- und Sauerstoffgehalt von Silizium gibt es insgesamt 3 relevante Standards.

In der internationalen Standardklassifizierung umfasst Kohlenstoff- und Sauerstoffgehalt von Silizium die folgenden Kategorien: Integrierte Schaltkreise, Mikroelektronik, Prüfung von Metallmaterialien.

Professional Standard - Electron, Kohlenstoff- und Sauerstoffgehalt von Silizium

• SJ 20636-1997 Testverfahren für den Sauerstoff- und Kohlenstoffgehalt von dünnen Siliziumwafern mit großem Durchmesser im Mikrobereich zur Verwendung in IC

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, Kohlenstoff- und Sauerstoffgehalt von Silizium

• GB/T 35306-2023 Bestimmung des Kohlenstoff- und Sauerstoffgehalts in der Niedertemperatur-Fourier-Transformations-Infrarotspektroskopie von Silizium-Einkristallen

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会, Kohlenstoff- und Sauerstoffgehalt von Silizium

• GB/T 35306-2017 Testmethode für den Kohlenstoff- und Sauerstoffgehalt von einkristallinem Silizium – Niedertemperatur-Fourier-Transformations-Infrarotspektrometrie

Sonstige:   Prüfmethode für den Siloxangehalt, Kohlenstoff- und Sauerstoffgehalt von Silizium, Sauerstoff- und Kohlenstoffgehalt in Silizium, Bestimmung des Gesamtkohlenstoffgehalts von Siliziumpulver mittels Infrarotabsorptionsverfahren nach der Verbrennung im Induktionsofen, Sauerstoffgehalt von Silizium-Kohlenstoff, Silica-Gehalt, Sauerstoff- und Kohlenstoffgehalt in Siliziumwafern, Sauerstoff, Kohlenstoff und ihre Bestandteile in Silizium, Sauerstoff, Kohlenstoff und Gehalt an Silizium, Silica-Gehalt, Sauerstoffgehalt von Silizium-Kohlenstoff, Silica-Gehalt.