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Tecnología: método de medición de longitud en el plano de la microestructura Mems basado en interferencia óptica

Tecnología: método de medición de longitud en el plano de la microestructura Mems basado en interferencia óptica, Total: 1 artículos.

En la clasificación estándar internacional, las clasificaciones involucradas en Tecnología: método de medición de longitud en el plano de la microestructura Mems basado en interferencia óptica son: Circuitos integrados. Microelectrónica.

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会, Tecnología: método de medición de longitud en el plano de la microestructura Mems basado en interferencia óptica

GB/T 34893-2017 Tecnología de sistemas microelectromecánicos: método de medición para mediciones de longitud en el plano de microestructuras MEMS utilizando un interferómetro óptico