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Método para medir el espesor de finas capas de dióxido de silicio sobre superficies de silicio mediante elipsometría

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General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, Método para medir el espesor de finas capas de dióxido de silicio sobre superficies de silicio mediante elipsometría

• GB/T 31225-2014 Método de prueba para el espesor del óxido de silicio sobre sustrato de Si mediante elipsómetro

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