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Guía estándar para el análisis y la presentación de informes de grados de pureza y contenido de impurezas de objetivos de pulverización catódica de metales de alta pureza para películas delgadas electrónicas

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Professional Standard - Non-ferrous Metal, Guía estándar para el análisis y la presentación de informes de grados de pureza y contenido de impurezas de objetivos de pulverización catódica de metales de alta pureza para películas delgadas electrónicas

YS/T 935-2013 Guía estándar para analizar e informar el contenido de impurezas y el grado de objetivos de pulverización catódica metálica de alta pureza para aplicaciones electrónicas de película delgada

American Society for Testing and Materials (ASTM), Guía estándar para el análisis y la presentación de informes de grados de pureza y contenido de impurezas de objetivos de pulverización catódica de metales de alta pureza para películas delgadas electrónicas

ASTM F2113-01 Guía estándar para analizar e informar el contenido de impurezas y el grado de objetivos de pulverización catódica metálica de alta pureza para aplicaciones electrónicas de película delgada
ASTM F2113-01(2007) Guía estándar para analizar e informar el contenido de impurezas y el grado de objetivos de pulverización catódica metálica de alta pureza para aplicaciones electrónicas de película delgada