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赤外線+シリコン

赤外線+シリコンは全部で 11 項標準に関連している。

赤外線+シリコン 国際標準分類において、これらの分類:絶縁流体、 半導体材料、 金属材料試験、 長さと角度の測定、 合金鉄。


General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China, 赤外線+シリコン

  • GB/T 14143-1993 300~900μmシリコンウェーハギャップ中の酸素含有量の赤外吸収測定法
  • GB/T 1557-2006 シリコン結晶中の格子間酸素量の赤外吸収測定法
  • GB/T 35306-2023 低温フーリエ変換赤外分光法によるシリコン単結晶中の炭素と酸素の含有量の測定

Professional Standard - Electron, 赤外線+シリコン

  • SJ/T 11491-2015 短ベースライン赤外吸収分光法を使用したシリコン内の格子間酸素含有量の測定
  • SJ/T 11552-2015 ブリュースター角入射 P 偏光赤外吸収分光法を使用したシリコン内の格子間酸素含有量の測定

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会, 赤外線+シリコン

  • GB/T 1557-2018 シリコン結晶中の格子間酸素量の赤外吸収測定法
  • GB/T 38976-2020 不活性ガス溶融赤外線法によるシリコン材料中の酸素含有量の測定

Group Standards of the People's Republic of China, 赤外線+シリコン

American Society for Testing and Materials (ASTM), 赤外線+シリコン

  • ASTM F1619-95(2000) ブリュースター角で入射する p 偏光を使用した赤外吸収分光法によるシリコン ウェーハの格子間酸素含有量の測定のための標準的な試験方法

工业和信息化部, 赤外線+シリコン

  • YB/T 4738-2019 不活性ガス溶融赤外吸収法によるカルシウムシリコン合金の酸素含有量の測定

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会, 赤外線+シリコン

  • GB/T 35306-2017 低温フーリエ変換赤外分光法によるシリコン単結晶中の炭素と酸素の含有量の測定




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