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走査型電子顕微鏡、SEM

走査型電子顕微鏡、SEMは全部で 8 項標準に関連している。

走査型電子顕微鏡、SEM 国際標準分類において、これらの分類：長さと角度の測定、 分析化学、 光学機器。

British Standards Institution (BSI), 走査型電子顕微鏡、SEM

• 18/30319114 DC BS ISO 20171 マイクロビーム解析走査型電子顕微鏡 走査型電子顕微鏡 (TIFF/SEM) 用のタグ付き画像ファイル形式
• 18/30344520 DC BS ISO 21466 マイクロビーム分析 走査型電子顕微鏡 CD-SEM 限界寸法の評価方法

American Society for Testing and Materials (ASTM), 走査型電子顕微鏡、SEM

• ASTM F1372-93(1999) ガス分配システムコンポーネントの金属表面状態の走査型電子顕微鏡 (SEM) の標準試験方法
• ASTM F1372-93(2020) ガス分配システムコンポーネントの金属表面状態の走査型電子顕微鏡 (SEM) の標準試験方法
• ASTM F1372-93(2012) ガス分配システムコンポーネントの金属表面状態を走査型電子顕微鏡 (SEM) で分析するための標準的な試験方法
• ASTM F1372-93(2005) ガス分配システムコンポーネントの金属表面状態を走査型電子顕微鏡 (SEM) で分析するための標準的な試験方法

KR-KS, 走査型電子顕微鏡、SEM

• KS D ISO 15632-2023 マイクロビーム分析: 走査型電子顕微鏡 (SEM) または電子プローブ マイクロアナライザー (EPMA) で使用するエネルギー分散型 X 線分光計 (EDS) の選択された機器性能パラメーターの仕様と検査

International Organization for Standardization (ISO), 走査型電子顕微鏡、SEM

• ISO 21466:2019 マイクロビーム分析、走査型電子顕微鏡、CD-SEM による臨界サイズの評価方法。

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