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酸素 ケイ素 炭素

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酸素 ケイ素 炭素 国際標準分類において、これらの分類:切削工具、 半導体材料、 集積回路、マイクロエレクトロニクス。


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  • SJ 20636-1997 IC用大口径薄型シリコンウェーハの酸素・炭素含有量の微小領域検査方法




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