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타원계

모두 18항목의 타원계와 관련된 표준이 있다.

국제 분류에서 타원계와 관련된 분류는 다음과 같습니다: 공작 기계, 계측 및 측정 합성, 비파괴 검사.

Korean Agency for Technology and Standards (KATS), 타원계

• KS B 4074-1972(2011) 타원계

British Standards Institution (BSI), 타원계

• BS EN ISO 23131:2022 엘립소미터 원리
• 20/30400313 DC BS ISO 23131. 타원계. 원칙적으로
• PD IEC TR 63258:2021 나노규모 필름 두께 평가를 위한 나노기술 엘립소메트리 애플리케이션 가이드

Association Francaise de Normalisation, 타원계

• NF EN ISO 23131:2022 타원계 - 원리

German Institute for Standardization, 타원계

• DIN EN ISO 23131:2023-01 엘립소미터 원리
• DIN EN ISO 23131:2023 타원계의 원리(ISO 23131:2021)
• DIN 50989-3:2022-04 타원계 - 3부: 투명 단일 레이어 모델
• DIN 50989-2:2021-04 엘립소메트리 파트 2: 벌크 재료 모델
• DIN 50989-6:2023-03 엘립소메트리 파트 6: 효과적인 재료 모델
• DIN 50989-4:2022-09 엘립소메트리 파트 4: 반투명 단일 레이어 모델
• DIN 50989-5:2023-03 엘립소메트리 5부: 다층 및 주기층 모델
• DIN 50989-1:2018 엘립소메트리 1부: 원리, 독일어 및 영어 텍스트
• DIN 50989-5:2023-12 엘립소메트리 파트 5: 다층 및 주기층 모델, 텍스트는 독일어와 영어로 제공됩니다.

National Metrological Technical Specifications of the People's Republic of China, 타원계

• JJF 1932-2021 엘립소미터 교정 사양

ES-UNE, 타원계

• UNE-EN ISO 23131:2023 타원계의 원리(ISO 23131:2021)

International Organization for Standardization (ISO), 타원계

• IEC TR 63258:2021 나노기술 나노필름의 두께를 추정하기 위한 엘립소메트리 적용 가이드
• IEC/TR 63258:2021 나노기술 나노필름의 두께를 추정하기 위한 엘립소메트리 적용 가이드

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