超声波扫描显微镜性能和用途

超声波扫描显微镜性能和用途

扫描频率最高可以达到２Ｇ．

扫描分辨率0.1微米.

最小扫描范围为0.25mm*0.25mm.

超声波扫描显微镜是一种非破坏性的检测组件的完整性，内部结构和材料的内部情况的仪器，作为无损检测分析中的一种，它可以实现在不破坏物料电气性能和保持结构完整性的前提下对物料进行检测。

被广泛的用在物料检验(IQC)、失效分析(FA)、质量控制(QC)、质量保证及可靠性(QA/REL)、研发(R&D))等领域。其可以检查到:

１.材料内部的晶格结构，杂质颗粒．夹杂物．沉淀物．

2. 内部裂纹.

3. 分层缺陷.

4. 空洞,气泡,空隙等。   

在一个较小尺寸的范围内，超声波会由于材料的物理特性发生相互作用。一旦材料的特性发生变化，样品内部的超声波就会被吸收、散射和反射。因为超声波无法很好通过空气进行传播，所以样品内的微小缝隙会被很容易的检测到。利用超声波的这种特性，可以把半导体材料内部的诸如分层，裂缝等的缺陷和不透光材料中的空隙等缺陷，成像在高分辨率的图像上，给材料的可靠性分析带来方便。分析测试百科网S L RV6mS MMnE

:V6Z/s4H"lbF0   C-SAM服务
s6~&nu*t6E0     超声波扫描显微镜(C-SAM)主要使用于封装内部结构的分析，因为它能提供IC封装因水气或热能所造成破坏分析，例如裂缝、空洞和脱层。分析测试百科网mY)rac Op(cs
    C-SAM内部造影原理为电能经由聚焦转换镜产生超声波触击在待测物品上，将声波在不同接口上反射或穿透讯号接收后影像处理，再以影像及讯号加以分析。
-Y&f7A?Xxt&N0     C-SAM可以在不需破坏封装的情况下探测到脱层、空洞和裂缝，且拥有类似X-Ray的穿透功能，并可以找出问题发生的位置和提供接口数据。
e_4u*HW;Q6@n U"nZ0

主要应用范围：
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]Bw)Sv0 ·  晶元面处脱层
v)]El8V{ X'u0 ·  锡球、晶元、或填胶中之裂缝
7Rj#bZ9y0 ·  晶元倾斜
I l1RTR0 ·  各种可能之孔洞（晶元接合面、锡球、填胶…等） 分析测试百科网:D%qk4{b ls8x
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·  覆晶构装之分析分析测试百科网6ks]Rd _pZS

5u,Y-bezE2@$v$c r0 C-SAM的主要特性：
5W6tCSVF7B-[0
i6x&je'u0 非破坏性、无损伤检测内部结构
yqxH$P#Z3M~}'|0 可分层扫描、多层扫描 分析测试百科网x,g bXx v
实施、直观的图像及分析
TQOKSf4l0 缺陷的测量及百分比的计算
e1ix8Rrhj|*F0 可显示材料内部的三维图像
"o7d)] iYJ0 对人体是没有伤害的
*Ff-\ OKo:\;@[A0 可检测各种缺陷（裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞、晶界边界等）
GfMFa+uJ0
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r&F] q"i0 C-SAM的主要应用领域：
#i)pU'~9WQsg0 半导体电子行业：半导体晶圆片、封装器件、红外器件、光电传感器件、SMT贴片器件、MEMS等 ;分析测试百科网?8C4lKK7q9\3Q+\
材料行业：复合材料、镀膜、电镀、注塑、合金、超导材料、陶瓷、金属焊接、摩擦界面等；
([y}8\&d[0 生物医学：活体细胞动态研究、骨骼、血管的研究等；

安赛斯（中国）有限公司设有专门的超声波扫描显微镜实验室，可为感兴趣的朋友提供参观和测试服务。