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伯东公司主要经营产品德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的真空测量(真空计, 真空规管);氦质谱检漏仪；质谱分析仪；真空系统以及美国Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源,Gamma离子泵. 网站: www.hakuto-vacuum.cn TEL: +86 (021) 5046-3511转106 Fax : +86 (021) 5046-1490 E-mail: ec@hakuto-vacuum.cn

伯东 KRI 考夫曼射频离子源 RFICP380 溅射制备 VO2 薄膜

上一篇 / 下一篇 2021-01-04 15:50:04/ 个人分类：离子源

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VO₂薄膜作为一种热门的功能材料, 具有优秀的相变特性和电阻开关特性, 在微测辐射热计、光存储器等光学器件领域具有广泛的应用前景.

天津某材料制造商采用伯东 KRI 射频离子源 RFICP380 辅助磁控溅射沉积制备 VO₂ 薄膜, 以获得均匀性好, 沾污少, 附着力强, 较高的透过率的 VO₂薄膜.

KRI 射频离子源 RFICP380 技术参数:

射频离子源型号	RFICP380
Discharge 阳极	射频 RFICP
离子束流	>1500 mA
离子动能	100-1200 V
栅极直径	30 cm Φ
离子束	聚焦, 平行, 散射
流量	15-50 sccm
通气	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型压力	< 0.5m Torr
长度	39 cm
直径	59 cm
中和器	LFN 2000