基于光谱能量分析的介质厚度测量方法

上一篇 / 下一篇  2008-12-10 14:28:11/ 个人分类：光谱分析

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摘要: 介绍了一种对厚度很小的平行玻璃平板厚度的高精度测量方法。通过激光束垂直照射被测物,用光谱仪接受并分析反射光各波长的能量。以此数据分析出介质对不同波长光线的反射率,找出反射率极大的波长。使用这些具有反射极大的波长进行计算,就得到介质的厚度值。该测量方案结构简单,测量精度较高。



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TAG: 光谱光谱仪光学测量能量分析厚度检测

 

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