材料学院热场发射扫描电镜通过验收
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下一篇 2010-03-24 13:47:17
2009年7月3日,山东大学日立SU-70热场发射扫描电镜顺利通过验收。
在教育部985工程的支持下,山东大学材料学院于2008年购买了代表世界热场扫描电镜的最高水平的日本日立最新热场扫描电镜SU-70,其性能指标如下:分辨率:1.0nm(15KV.WD=4.0mm)
,1.6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式),放大倍数:
100-800,000x,可研究各种材料。其能谱分辨率达133eV,能测元素周期表中5B-92U。该设备配备附件阴极荧光谱仪在SEM及CL显示器上显示出对应波峰的单光及全光影像,并利用DigiScan做定点CL光谱分析和线分析,可以深入研究光电子学和其他半导体材料学。
山东大学在该仪器试运行半年后组织专家进行验收,材料学院测试中心主任对该设备的安装、调试、运行等情况作了汇报,专家最后一致达成:经试运行设备性能稳定,技术指标达到合同要求。该设备的成功验收及购买,为材料学及相关学科的科研发展建立了一个高水平的平台,提升了山东大学的科研实力,弥补了山东省高端热场发射扫描电镜的空白。
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