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压电式传感器应用

(二)

2020.10.26

二、压电mems

1、压电mems喷墨打印头

喷墨打印为个人文档打印提供了灵活、经济的解决方案,目前仍在家庭和小型办公环境中大量应用。同时,cad和图形艺术应用的大型宽幅打印将喷墨打印作为单次打印和小批量打印的技术选择。mems技术为之带来了“诱人”的解决方案:每个喷墨打印头拥有更高的喷嘴密度,以及通过大批量生产实现可接受的制造成本。

打印头主要有两种技术方案:热发泡打印和压电打印。大多数压电喷墨打印头使用pzt压电陶瓷材料,采用薄膜沉积pzt压电陶瓷代替整块pzt压电陶瓷具有巨大的应用前景。薄膜沉积pzt压电陶瓷的优势包括:更好的控制墨滴尺寸以调节灰度值和降低功耗。

2007年,爱普生推出了薄膜压电(tfp)打印头,广泛应用于爱普生大幅面打印机的范围内。2013年9月,爱普生公司宣布其新一代喷墨打印技术:

precisioncore,第一次推出采用pzt薄膜技术制造的mems喷墨......

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