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高效过滤器检漏标准操作规程

2020.6.15

1. 高效过滤器检漏方法--计数扫描法

洁净室施工及验收规范

》(jgj71-90)中规定,被检高效过滤器须已经检测过风量,并设计风速80%-120%之间运行,对于被检高效过滤器上风侧的颗粒浓度对受控粒径对于≥0.5μm 粒子的浓度,须≥3.5×104pc/l,对受控粒径≥0.1μm 的粒子浓度,须≥3.5×106-3.5×107pc/l。使用最小采样量>1l/min 的粒子计数器扫描法,对高效过滤器安装接缝和主断面进行扫描检测,检测点应距被测表面20-30mm,测头以5-20mm/s 的速度移动,对被检过滤器整个断面、封胶头和安装框架处进行扫描。在《洁净室施工及验收规范》中规定,由高效过滤器下风侧泄漏浓度换算成的穿透率来衡量是否合格。

实际存在的问题:高效过滤器一般都在系统风量和各风口风量调整平衡后进行,根据规范要求各风口风量与设计的风量偏差小于15%,这满足被检风口在接近设计风速下进行的条......

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