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原子力显微镜应用领域

2018.6.27

原子力显微镜的主要应用领域

在材料科学领域,原子力显微镜不但可以获得材料表面的3d形貌、表面粗糙度和高度等信息,而且可以获得材料表面物理性质分布的差异,例如摩擦力、阻抗分布、电势分布、介电常数,压电特性、磁学性质等。

在聚合物科学领域,原子力显微镜可以获得表面的结构以及材料表面物理性质。对样品进行加热,可以研究聚合物的相变过程;结合环境腔,可以研究有机溶剂气氛下聚合物表面结构演变过程,有助于解释聚合物失效机理。

在半导体工业领域,原子力显微镜可以检测基片表面抛光缺陷、图形化结构、薄膜表面形貌以及定量的表面粗糙度数据和深度信息,同时可以检测表面缺陷(比如电流泄漏、结构缺陷、晶格错位、缺陷密度和传播等)以及表面阻抗、电势分布、介电常数、掺杂浓度等,有利于半导体材料的可靠性、均一性和失效性分析。

在电化学领域,原子力显微镜可以原位研究电化学的沉积过程,揭示电化学的反应机理;可以原位研究金属腐蚀过程......

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