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去离子水制备装置

超纯水技术在半导体行业的应用

随着超纯水技术在半导体行业的应用口益广泛,半导体制造单位对超纯水的要求也越来越高。半导体行业是一个高能耗的行业。在半导体产品制造过程中,由于生产设备的精密性和生产工艺的复杂性,对其配套设施提出了很高的要求,尤其对作为半导体行业血脉的超纯水系统更是高之又高。1超纯水制造工艺半导体行业超纯水制造工艺可以概述为4个部分,分别为预处理部分、ro部分、电去离子部分和抛光混床部分。在有些半导体厂中,也有用“阴床十阳床”代替电去离子装置的,主要根据原水水质和产水水质对弱电解质的要求而定,这里主要探讨常用的电去离子工艺。1.1预处理部分预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体,使sd≤4;去除游离氯等氧化性物质;去除部分有机物;降低lsi ,避免碳酸盐结垢。在超纯水制造工艺中,传统预处理方式是“多介质过滤器+活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过......

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