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机床激光干涉仪原理

激光干涉仪的工作原理

激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉(见图)。若光程差没有变化时,探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。 若光程差有变化时,探测器会在每一次光程变化时,在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化......

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激光干涉仪检测图谱

这要看交叉多大。有交叉不是说就不好。他是地位精度。你要看哪上边的数值,这是不是在一定范围,然后检完要要进行补偿,然后再捡,一般的不好的都是三遍每一遍到最后线越来越宽的。叫喇叭口,这种的不好。只要在系统的补偿值范围内就没事,机械不要做得太次,要不没法过。

2022-04-05 12:......

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