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电子显微镜的结构图及其原理

2023.2.01

扫描电子显微镜电子枪发射出的电子束经过聚焦后汇聚成点光源;

点光源在加速电压下形成高能电子束;高能电子束经由两个电磁透镜被聚焦成直径微小的光点,在透过最后一级带有扫描线圈的电磁透镜后,电子束以光栅状扫描的方式逐点轰击到样品表面,同时激发出不同深度的电子信号。

此时,电子信号会被样品上方不同信号接收器的探头接收,通过放大器同步传送到电脑显示屏,形成实时成像记录(图a)。由入射电子轰击样品表面激发出来的电子信号有:俄歇电子(au e)、二次电子(se)、背散射电子(bse)、x射线(特征x射线、连续x射线)、阴极荧光(cl)、吸收电子(ae)和透射电子(图b)。每种电子信号的用途因作用深度而异。

图 a.扫描电子显微镜原理图;b.扫描电子显微镜电子信号示意

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