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工业用烘箱品牌

2021.4.13

光刻机的品牌众多,根据采用不同技术路线的可以归纳成如下几类:

高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种,分辨率通常在十几纳米至几微米之间,高端光刻机号称世界上最精密的仪器,世界上已有7000万美金的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要以荷兰asml(镜头来自德国),日本nikon(intel曾经购买过nikon的高端光刻机)和日本canon三大品牌为主。

位于中国上海的smee已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机,形成产品系列初步实现海内外销售。正在进行其他各系列产品的研发制作工作。

生产线和研发用的低端光刻机为接近、接触式光刻机,分辨率通常在数微米以上。主要有德国suss、美国mycro nxq4006、以及中国品牌。

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