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海德创业（北京）生物科技有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | EMS 150 |
| 品牌： | EMS | 产地： | 美国 |
| 关注度： | 11 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 供应商性质 | 生产商 | 产地类别 | 进口 |
| 价格范围 | 5万-10万 |
| 溅射气体 | C | 样品台尺寸 | 5 to 999nm |
| 控制方式 | 5 to 999nm | 样品仓尺寸 | 300mm (W) x 150mm (D) x 75mm (H) |
| 靶材尺寸 | 视仪器 | 靶材材质 | 碳，金 |
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EMS 150膜厚监控仪(Film Thickness Monitor)
EMS 150膜厚监控仪和喷金仪/离子溅射仪/喷碳仪/蒸发镀膜仪配套使用，以便对膜厚进行监控。提供内置模块和外接装置。
石英晶体是离子型的晶体，由于结晶点阵的有规则分布，当发生拉伸或压缩时能产生电极化现象，称为压电现象。石英晶体压电效应的固有频率不仅取决于其几何尺寸，切割类型，而且还取决于芯片的厚度。当芯片上镀了某种膜层，使芯片的厚度增大，则芯片的固有频率会相应的衰减。膜厚监控仪就是通过测量频率或与频率有关的参量的变化而监控淀积薄膜的厚度。
膜厚监控仪(FTM)是如何工作的呢？镀膜时，膜厚监控仪里面的晶振片的高速振动，测试每秒钟振动次数的改变，从所接受的数据中计算膜层的厚度。
仪器参数：
仪器尺寸 | 300mm (W) x 150mm (D) x 75mm (H) |
重量 | 6Kg |
可配套仪器 | EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650, |
晶片座 | 置晶片装置 |
密度范围 | 1.55 to 23.0g/cm-3 |
测控范围 | 5 to 999nm |
镀碳时精度 | 0.8nm |
镀金时精度 | 0.1nm |
电源 | 230V 50 Hz (3 Amp Max) |
膜厚监测仪信息由海德创业（北京）生物科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于膜厚监测仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
